Sintesis silikon nitrida pertama kali dilaporkan pada tahun 1857 oleh Henri Edouard Saint - Claire Deville dan Friedrich Wöhler. Dalam sintesis mereka, silikon yang mengandungi silikon diletakkan di dalam crucible yang dipenuhi dengan karbon dan dipanaskan untuk mengurangkan penembusan oksigen. Mereka melaporkan produk yang mereka panggil silikon nitrida, tetapi tidak dapat menentukan komposisi kimianya.
Pada tahun 1879, Paul Schutzenberger menyiapkan produk dengan pemanasan silikon bercampur dengan bahan lapisan (tampalan yang boleh digunakan sebagai lapisan crucible, yang dibuat dengan mencampurkan arang, briket arang batu atau kok dengan tanah liat) dalam relau letupan dan melaporkannya sebagai sebatian dengan komposisi SI3N4. Pada tahun 1910, Ludwig Weiss dan Theodor Engelhardt menyediakan SI3N4 dengan pemanasan silikon elemen dalam nitrogen tulen. Pada tahun 1925, Friederich dan Sittig mensintesis silikon nitrida dengan pemanasan silikon dioksida dan karbon dalam suasana nitrogen hingga 1250-1300 darjah menggunakan pengurangan haba karbon.