Membuat serbuk logam silikon agak mudah. Anda hanya meletakkan sejumlah serbuk silikon kasar ke dalam arka plasma yang mengandungi gas lengai dan memanaskannya ke suhu yang tinggi, menyebabkan serbuk silikon berubah menjadi wap silikon. Wap ini kemudian disejukkan dan berubah menjadi serbuk logam silikon nano.
Kaedah pemendapan wap kimia: Silane dibahagikan kepada silikon dan hidrogen apabila hidrogen banyak dan haba atau cahaya digunakan. Ia dengan cepat berubah menjadi gas, dari mana serbuk nanosilicon diperolehi.
Kaedah Pengisaran Bola: Bahan silikon yang lebih besar adalah tanah serbuk bersaiz nano oleh mesin menggunakan geseran dan perlanggaran antara zarah. Serbuk logam silikon yang dihasilkan oleh pengisaran bola mempunyai kandungan kekotoran yang tinggi, pengedaran saiz zarah tidak dapat dikawal dengan baik, dan pemprosesan berikutnya agak rumit.